影像测量仪应用之微小芯盘片尺寸高精度测量
芯片作为核心竞争产品，只有两三厘米那么小却密布了上千万条线路，每一条走向都整齐有序。传统的测量技术很难完成对芯片尺寸的高精度、高效率检测。影像测量仪基于图像处理技术，通过图像处理快速获取物体的几何参数，再通过软件分析，完成测量
随着集成电路的飞速发展，芯片电线路宽越来越小，海克斯康复合式影响测量仪通过显微光学系统放大一定的倍数，再由图像传感器将显图像传送到计算机中，之后再进行图像的处理和测量。
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关键词：影像仪、影像测量仪
